주사전자현미경
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작성일 19-06-19 02:08
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위의 그림은 SEM의 원리 구성을 나타낸 것이다. SEM의 배율은 SEM의 원리에서 알 수 있듯이 전자프로브의 시료상 주사 폭과 CRT 스크린폭 (또는 최종 확대 인화폭)과의 비로 정해진다. 가늘게 조은 전자선을 시료 위에 주사시키고 동시에 상재생 속에서는 음극선관 내의 전자빔을 형광면에 주사시켜 양자를 동기시킴으로써 상의 형성이 이루어진다. CRT 디스플레이 화폭은 일정하므로 배율의 變化는 전자프로브의 주사편향각을 전체적으로 變化시킴으로써 이루어지며, 통상 수십 배부터 수만 배 정도까지 變化시킬 수 있따 또한 SEM에서는 원리적으로 배율의 變化, 초점 맞춤, 화상의 밝기, 콘트라스트를 각각 조절할 수 있따
SEM의 특징은 광학현미경과 비교해서 집점심도가 2배 이상 깊고, 이러한 높은 초점심도…(To be continued )
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다. SEM사진을 얻기 위해서는 CRT에 나오는 화면을 카메라로 촬영해야한다.주사전자현미경,기타,레포트
주사전자현미경
주사전자현미경(SEM)은 시료 표면을 전자선으로 주사하여 입체구조를 직접 observe하는 기능을 가진 전자현미경이다.
SEM의 구조는 그림과 같이 크게 나누면 본체부와 전기계부의 두 종류로 구성되어있따 본체부는 전자총에서 나온 전자선을 가늘게 접속하여 시료 위를 2차원적으로 주사시키면서 조사하는 전자 광학계와 observe시료를 취급하는 시료스테이지, 시료의 표면에서 나오는 신호를 검출하는 검출기, 시료스테이지와 검출기를 포함하는 시료실 및 전자선 통로를 진공으로 배기시키는 배기계로 구성되어있따 전기계는 본체부를 제어하는 각종 전원(가속전압전원, 렌즈전원, 주사전원, 직류전원 등)과 검출기의 제어 및 신호를 증폭하는 신호처리계, 신호를 음극선관 위에 상으로 표시하는 상 표시부 및 상을 기록하는 카메라 장치와 전기계 전체를 조작하기 위한 조작부(조작판넬)로 구성되어있따
주사전자현미경의 원리를 알아볼 때, SEM에서 시료의 확대상을 얻는 기구는 광학현미경이나 TEM과는 다르다. 입사전자선에 의해 시료면에서 발생하고 상의 콘트라스트를 결정하는 2차 전자량은 주로 시료면의 에 의존한다.
